X-ray荧光-XRF 样品真的NG吗!? XRF能谱判读教学
样品真的NG吗!? XRF能谱判读教学
平常在使用桌上型XRF进行样品测试时,仪器会帮您判定RoHS管制的有害物质元素浓度是否超标,但假如您遇到测试结果NG,可以藉由XRF能谱判读来进一步分析。科迈斯今天针对这个问题提供浅显易懂的方法让各位桌上型XRF使用者对于能谱有初步的判读能力。

▲图1 能谱和波峰基本说明
上图的X轴Y轴分别为:
能谱基本说明-何谓能谱和波峰

▲图1 能谱和波峰基本说明
上图的X轴Y轴分别为:
X轴单位:eV,Electron Volt,电子伏特→影响样品里含有的元素 每个元素的荧光都不一样,有特定的位置。 |
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![]() ▲图2 能谱X轴代表元素能量 |
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Y轴单位:cps,Counts Per Second,每秒计数量→影响样品里元素的浓度 同类型的样品不同浓度,对应的「量」会不一样。(可见下图左、右二图差异) |
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![]() ▲图3 能谱Y轴代表元素强度 |
综合以上我们可以得知:
X轴上的波峰我们可以得知元素
Y轴上波峰的强度我们可以计算出元素浓度
认识完能谱波峰对应元素和浓度的关系,再来可以进一步了解如何判断元素的波峰。
▲图5 能谱中如何判断波峰
▲图6 判断原则的A、B、C

▲图7 判断原则的A
而依照B原则来看下图Pb的La分析线对应到的波峰不对称所以不符合B原则。

▲图8 判断原则的B
再来我们用C原则来分析下图,可以很明显地看到图中Pb的两条分析线只有左边一条对应到波峰上,右边另一条并没有波峰所以不符合C原则。

▲图9 判断原则的C
用ABC三个原则判定下图,分析线有波峰、波峰对称、有复数波峰上述条件皆符合,那我们几乎可认定该元素的存在。

▲图10 判断原则皆符合
经过以上的介绍相信大家对桌上型XRF的能谱判读有了初步的了解和认识,刚接触XRF能谱判读需要较多的测试结果和经验累积,也有些案例是使用者自己较难去判断的部分,可经由产生多重能谱让科迈斯技术服务团队协助判断。
科迈斯有专业的技术服务团队及测试RoHS项目的桌上型XRF设备能提供相关的技术服务,深耕业界多年在各产业领域也有许多经验,实务方面也处理过各种能谱方面的问题,如有无法判断或分析困难的案件欢迎与我们联系讨论。
X轴上的波峰我们可以得知元素
Y轴上波峰的强度我们可以计算出元素浓度

▲图4 能谱波峰可得知元素和浓度
认识完能谱波峰对应元素和浓度的关系,再来可以进一步了解如何判断元素的波峰。
如何判断波峰
首先认识元素的分析线—分析线是用来标示「理论上元素的波峰应该在的位置」。

而判定的方法主要有三个原则:
A. 波峰是否在分析在线
B. 波峰是否为对称波峰,可能因干扰而波峰不对称
C. 复数个分析线有波峰,可能没有或看不到波峰
A. 波峰是否在分析在线
B. 波峰是否为对称波峰,可能因干扰而波峰不对称
C. 复数个分析线有波峰,可能没有或看不到波峰

下面为三个原则做实例示范:依照A原则来判定下图的波峰,因为波峰不在分析在线所以此案例不符合A原则。

▲图7 判断原则的A
而依照B原则来看下图Pb的La分析线对应到的波峰不对称所以不符合B原则。

▲图8 判断原则的B
再来我们用C原则来分析下图,可以很明显地看到图中Pb的两条分析线只有左边一条对应到波峰上,右边另一条并没有波峰所以不符合C原则。

▲图9 判断原则的C
用ABC三个原则判定下图,分析线有波峰、波峰对称、有复数波峰上述条件皆符合,那我们几乎可认定该元素的存在。

▲图10 判断原则皆符合
经过以上的介绍相信大家对桌上型XRF的能谱判读有了初步的了解和认识,刚接触XRF能谱判读需要较多的测试结果和经验累积,也有些案例是使用者自己较难去判断的部分,可经由产生多重能谱让科迈斯技术服务团队协助判断。
科迈斯有专业的技术服务团队及测试RoHS项目的桌上型XRF设备能提供相关的技术服务,深耕业界多年在各产业领域也有许多经验,实务方面也处理过各种能谱方面的问题,如有无法判断或分析困难的案件欢迎与我们联系讨论。
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