X-ray荧光-XRF 利用XRF进行残留微小异物分析方法
随着质量要求提升，XRF荧光元素分析仪俨然已成为各家中小企业工厂品管系统内必备的IQC成分检验的项目之一，然而，XRF除了用作于RoHS欧盟有害物质检验分析外，还可以用来作为什么应用呢？
如下客户在制成中，发现基材上不时有异物残留，于是欲希望利用XRF元素分析仪，来进行异物定性功能分析，解决异物为何，出自于何处。
（左图客户样品为塑料板材，其表面有一微小长条状异物残留于其上）
分析方式如下：
一般异物由于面积非常小，可建议采用小的XRF的光径，来进行元素分析
- 若为SEA或EA系列桌上型XRF，其较小光径为1mm ;
- 若为Olympus DELTA或VANTA手持式XRF，较小光径则可确认是否选配3mm光径
异物定性分析方法流程 :
- 先测试含异物区块。
- 再选不含异物的背景区进行测试。
- 进行两能谱比对(相减)，透过能谱或成分差异进一步判别异物成分。
分析异物结果报告：
由此分析方法得知，虽传统方法异物大部分皆由SEM-EDX来进行，然而XRF较小光径(1mm)较SEM大，倘若残留未知物仍有厘米等级面积大小，还是可藉由残留的异物与背景材料的对比分析方式，从而获得异物为何，不失为一个取代SEM之快速分析方法。
测试参考条件
[X-射线能谱]
| 样品影像 – A (含异物) | 样品影像 – B (背景处) |
|---|---|
 |
 |
| 上图红圈区块则为XRF测试之区块 | |
测试参考条件
| 样品 | A | B |
|---|---|---|
| 测量时间(秒) | 250 | 250 |
| Collimator | 圆圈1.0mm | 圆圈1.0mm |
| X-光管电压(kV) | 50 | 50 |
| X-光管电流(μA) | 1000 | 1000 |
| 滤波器 | Pb用 | Pb用 |
[X-射线能谱]
EA1000AIII
EA1200VX
EA6000VX
从以上[X-射线能谱]相扣除后得知，于铜(Cu)分析线处为相异之处，因此可确认该异物其包含铜(Cu)成分。
此异物判定测试结果为铜(Cu)异物掉落或残留。
此异物判定测试结果为铜(Cu)异物掉落或残留。
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