X荧光-XRF EA1000AIII / EA1400 多功能XRF作为Cu/Ni/Au铜镍金膜厚分析
SEA1000A系列应该是到目前为止全球普遍用来作为RoHS及无卤素监控的XRF设备，从SEA1000A, SEA1000AII，进化到EA1000AIII, EA1000VX, EA1200VX，科迈斯的EA XRF客户已经远远超过1000个以上，随着欧盟对于有害物质及国际大厂的要求越来越严格，所以测试范围已从Pb, Cd, Hg, Br, Cr…慢慢增加S, Sb, Sb…。
对于EA1000 系列的RoHS重金属浓度监控能力毫无疑问，实际上客户使用SEA1000A与EA1000A系列还有一个功能就是一台膜厚仪，但当然此系统的限制是在光束只能限制在1mm，小于此大小的样品只能用专业膜厚仪如FT100A, FT150H, FT160…，也就是有超过面积1mm直径的金属镀膜有非常高的准确度及精确度，我们利用EA1000AIII的两种方法来测试典型的铜底镀镍镀金Cu/Ni/Au来测试EA 1000AIII的膜厚功能。
一般常见的电池金手指或是PCB的金手指，半导体导线架，都是常用铜镀镍镀金的镀层。
我们使用两种模式比较，薄膜块体分析FP法的优点是标准品使用非常少，利用强大FP软件来计算，对于很难找到标准片的金属镀膜很适合使用，而且可以控制在一定的准确度，另外一种检量线法，检量线法需要较多标准片但优点是准确度可以作到非常好。
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Cu/Ni/Au 铜镀镍镀金 |
||
| Au(μm) | Ni(μm) | |
| 标准值 | 0.8890 | 5.1000 |
| 1 | 0.8908 | 5.0476 |
| 2 | 0.8882 | 5.0629 |
| 3 | 0.8835 | 5.0823 |
| 4 | 0.8869 | 5.0767 |
| 5 | 0.8848 | 5.0788 |
| 6 | 0.8875 | 5.0985 |
| 7 | 0.8860 | 5.0819 |
| 8 | 0.8872 | 5.0935 |
| 9 | 0.8874 | 5.0685 |
| 10 | 0.8849 | 5.0682 |
| AVE平均值 | 0.8867 | 5.0759 |
| SD标准偏差 | 0.0021 | 0.0149 |
| CV or RSD相对标准偏差 | 0.23% | 0.29% |
| Error误差 | 0.26% | 0.47% |
|
Cu/Ni/Au 铜镀镍镀金 |
||
| Au(μm) | Ni(μm) | |
| 标准值 | 0.1230 | 1.0800 |
| 1 | 0.1231 | 1.0830 |
| 2 | 0.1220 | 1.0707 |
| 3 | 0.1239 | 1.0783 |
| 4 | 0.1225 | 1.0724 |
| 5 | 0.1241 | 1.0724 |
| 6 | 0.8875 | 1.0760 |
| 7 | 0.1233 | 1.0807 |
| 8 | 0.1234 | 1.0774 |
| 9 | 0.1237 | 1.0815 |
| 10 | 0.1221 | 1.0775 |
| AVE平均值 | 0.1232 | 1.0770 |
| SD标准偏差 | 0.0007 | 0.0042 |
| CV or RSD相对标准偏差 | 0.60% | 0.39% |
| Error误差 | 0.02% | 0.28% |
|
Cu/Ni/Au 铜镀镍镀金 |
||
| Au(μm) | Ni(μm) | |
| 标准值 | 0.0100 | 1.0800 |
| 1 | 0.0106 | 1.0678 |
| 2 | 0.0104 | 1.0784 |
| 3 | 0.0097 | 1.0769 |
| 4 | 0.0096 | 1.0813 |
| 5 | 0.0103 | 1.0765 |
| 6 | 0.0105 | 1.0715 |
| 7 | 0.0096 | 1.0695 |
| 8 | 0.0105 | 1.0750 |
| 9 | 0.0101 | 1.0718 |
| 10 | 0.0094 | 1.0886 |
| AVE平均值 | 0.0101 | 1.0757 |
| SD标准偏差 | 0.0005 | 0.0062 |
| CV or RSD相对标准偏差 | 4.49% | 0.57% |
| Error误差 | 0.70% | 0.40% |
SEA1000AII, EA1000AIII, EA1000VX, EA1200VX都是非常好的膜厚仪，软件内含有两种膜厚功能，一种是薄膜分析FP法、一种是薄膜检量线法，以上数据都是利用简单的薄膜分析FP法测试，对于就算奈米等级厚度只有10nm厚度的Au都可以作到误差(Error)非常的低，标准偏差(SD)及相对偏差(CV or RSD)都很低，高准确度及高精密度足以作为精密电子件或五金加工件的膜厚分析工具。
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