X荧光-XRF 金属膜厚/重金属RoHS/映像-三功能XRF EA 6000VX
常见XRF根据光束大小, 光通量, 分辨率, 准确度, 补正功能, 应用软件可以分为膜厚仪Thickness guage XRF, Mapping映像 XRF, RoHS 用XRF。 EA 6000VX 属于高阶多功能型XRF, 同时拥有膜厚功能, 映像功能, RoHS功能。
膜厚仪XRF
常见PCB印刷电路板、BGA、导线架、各种精密零件电镀,都需要测试金属镀膜厚度,基本要求是需要小孔径光束,并且高分辨率能分离多种电镀材质能谱,并可以一次测试多个样品,一次测试多点样品,并且可以准确分析各种金属镀膜厚度。EA 6000VX 可以将光束缩小至0.2mm 并且能记忆多点位置一次测试,甚至做到映像Mapping,并且有相当高的准确度及精确度。
Sn-Ag/Cu铜镀锡银,测试:30sec |
|||
Thickness |
Composition |
RoHS |
|
1 | 5.34 | 2.83 | 291 |
2 | 5.3 | 2.63 | 297 |
3 | 5.31 | 2.64 | 347 |
4 | 5.34 | 2.73 | 303 |
5 | 5.31 | 2.67 | 329 |
6 | 5.33 | 2.67 | 334 |
7 | 5.33 | 2.75 | 291 |
8 | 5.3 | 2.74 | 262 |
9 | 5.35 | 2.72 | 303 |
10 | 5.36 | 2.91 | 308 |
AVE | 5.33 | 2.73 | 306.5 |
SD | 0.02 | 0.09 | 24.6 |
CV | 0.40% | 3.20% | 8.00% |
Au/Ni/Cu铜镀镍镀金,测试:30sec |
||
Au(μm) |
Ni(μm) |
|
1 | 0.054 | 5.11 |
2 | 0.055 | 5.11 |
3 | 0.054 | 5.12 |
4 | 0.055 | 5.08 |
5 | 0.054 | 5.1 |
6 | 0.055 | 5.13 |
7 | 0.053 | 5.08 |
8 | 0.053 | 5.09 |
9 | 0.054 | 5.08 |
10 | 0.055 | 5.14 |
AVE | 0.054 | 5.1 |
SD | 0.0008 | 0.02 |
CV | 1.50% | 0.40% |
RoHS功能
XRF的单点元素分析功能是基本,但要做到RoHS, RoHS 2.0, RoHS 3.0…分析功能需要考虑对于样品基质的补正,包括不同类型的含氯不含氯的基质,形状的补正,厚度曲面的补正,也可应用于无卤规范及其他相关法规应用。
EA 6000VX软件包括各种形状面积补正,并提供原厂附JAB国家一级实验认证含氯及非含氯RoHS塑料重金属分析标准品,并是全XRF市场上唯一可以提供各种特殊元素的标准品作校正包括Sb, Sn, Ni, P, S标准品。除RoHS应用外还可增加不同元素应用于欧盟REACH法令有害物质、欧洲玩具标准EN71-3、加州Prop. 65法令、美国CPSIA铅含量限制、合金型号辨识、金属元素成分分析、贵金属分析、分析土壤/环境重金属分析、油品分析…等各种元素分析。
Mapping映像功能
EA 6000VX除可以单点元素分析功能外,对于整片不均匀材质欲分析整片区域元素,利用Mapping映像功能,可以知道愈分析的整片区域的某些元素的分布状况,可应用于印刷电路板、太阳能电池、异物方析之快速扫瞄成份分析及金属膜厚Thickness guage测定,样品可以至250 mm×200mm。
Hitachi High-Tech日立高新针对大范围的测试对象,特别所设计了全新高阶机型—EA 6000VX,采用新颖、高阶Vortex检测器,是目前市面上功能较强速度较快的扫描分析电子式冷却XRF,高计数率设计的Vortex检测器,检测速度是一般检测器的15~20倍,强度可以到150,000CPS,针对微小污染物,微小孔劲需求膜厚测试,微量元素及轻元素分析的应用极佳,EA 6000VX为用于非破坏扫描检测的高阶仪器XRF。
EA 6000VX当测试大面积测试时如遇到测试PCBA、电路板、已上零件,此时平面就会变的高低不同,如直接测试不调正每个点的测试高度会影响浓度及膜厚准确度,但如要调整高度就必须要有好的控制软件或软件,先作快速扫描得知平面高度,EA 6000VX可已根据红外线扫瞄得到较高平面避免检测器及光管碰触到样品,功能超越一般映像XRF。
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