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2016.Feb.21

X萤光-XRF 穿透式X-ray检测技术大跃进


穿透式X-ray是当前非破坏检测内部缺陷分析较效率且快速之方法,尤其目前高端精密零件都已达微米甚至奈米等级,因此穿透式X-ray检测能力更成分析工具之一。

随时代跃迁快速,人们追求更轻、更薄、更小的科技产品,首当其冲就是半导体封装相关产业,为突破制程上的奈米级技术,提高产品合格率,快速发现问题修改RD设计缺陷,首要即为需可快速精确分析样品defect,因此穿透式X-ray能力也从微米(µm)细节分辨,提升至目前更高阶奈米(nm)非破坏检测能力。

以下为两种不同光管聚焦能力检测实例:
光管聚焦能力 微米等级Micro Focus 奈米等级Nano Focus
二维检测图片 穿透式X-ray检测
穿透式X-ray检测
穿透式X-ray检测
穿透式X-ray检测
CT三维分析 穿透式X-ray检测 穿透式X-ray检测

(以上为半导体封装之内部部件


从上我们可以看出奈米聚焦的细微分析能力,远大于一般的微米解析。除此之外,一般型穿透式X-ray光机,虽可以达到某种程度上判断需求,但随着材料复杂的多样化程度,多层次样品叠加之后,往往测试结果会非常模糊,因此在进阶的硬体改良上,仪器增加了滤化补正效果,得以呈现出半导体封装或高阶精密零件原始的高对比判别结果。
 
处理差异 一般X-ray分析 进阶的硬件滤片锐化后效果
检测图片 一般X-ray分析 进阶的硬件滤片锐化后效果

高对比的检测呈现,除了加速使用人员判断率,同时目前穿透式X-ray软体都搭载Void孔洞软体自动分析,黑白更清晰的呈现对比,优化更精准的孔洞百分率,让自动化能力渐渐取代人为耗时的辅助判断。

非破坏检测的穿透式X-ray已是未来精密产品把关的必要分析工具,产品好坏在过往没有检测分析的能力情况下,客户端及供应端只能从研发和制造端的书面数据佐证产品优劣,没有一个强而有力的工具去精确分析,但随着穿透式X-ray的迅速硬体提升,为半导体封装产业及其他非破坏检测取向客户,达成互惠双赢的局势。
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