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1. 搭载高输出超短脉冲雷射(皮秒雷射)来实现高生产性，藉由超短脉冲雷射(皮秒雷射)加工来实现热影响较少的加工。2. 搭载新的高速数字扫描振镜，实现高精度、高生产性，藉由马达编码器与光学尺来实现高再现性精度。
3. 可能可以削减去胶渣处理
4. 图像处理功能
5. ASC机能（同步控制功能）节省大量加工时间，可使扫描振镜与加工平台来同歩进行高质量之连续加工功能。
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■ 标准功能
分类 项目 规格 备注 加工平台 行程 400×400mm 滚珠螺杆驱动 加工范围 400×400mm 速度 250mm/sec 15000mm/min Ｚ轴 行程 150mm 速度 200mm/sec 12000mm/min 外形 设置空间 1500×1500×2200mm 可用电梯搬送 重量 搬送 1900Kg 定位 10μ以下
好0.05μm搭载光学尺 控制装置 定位（无轮郭指令） 搭载Pitch误差补正功能 图像处理 相机２式 加工行程全局检测 200万画素、黑白 出力监视器１ 检查雷射输出 于雷射发振器出口来计测
■ 选配分类 项目 规格 备注 高度检测传感器 雷射传感器 检测薄膜材料高度用 观察监视器 CCD监视器 检视加工点周遭 出力监视器２ fΘLens之后的输出测定 检测薄膜材料高度用 集尘装置 2.2KW集尘机 PushPull方式 自动化对应 个别对应
■ 扫描振镜専用CAD／CAM系统分类 项目 规格 备注 高度检测传感器 雷射传感器 检测薄膜材料高度用 观察监视器 CCD监视器 检视加工点周遭 -
▶ 金属细微加工 Precise Cutting of metal
▶ SiC 雕刻加工 SiC engraving
▶ 陶瓷生胚切断 LTCC green sheet cutting
▶ ITO膜剥离
▶ Au膜剥离
▶ 铜膜剥离及极小孔钻孔
