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phoenix的micromelx neo和nanomelx neo 系列产品将高分辨率的2D X射线技术和3D CT技术完美地集成于一套系统。多项独特的创新设计,以及极高的定位精度,使得这套系统成为科学研究、缺陷分析、过程和质量控制等领域可靠有效的解决方案。
全新钻石靶材 - 高输出功率以及高分辨率
- 在长时间使用下可以稳定焦点
- CT扫描速度提高2倍
FLASHTM - 透过软件简军快速地进行滤波效果
- 将黑白对比更突显出来,有效的观察缺陷位置
Planar CT平面CT系统,提供切片以及整个立体结构的影像 - 轻瘾完成大型电路板的2D切片以及3D影像
- 无须裁切大型电路板,并且针对多层结构不会有重迭影像的问题
左上:完成Planar CT 后,无上下重迭影像
右下:传统2D影像,影像重迭较难分析标准CT计算机断层扫描 - 高解析CT隐用,可以找出半导体封装常见缺陷
- CT影像适合针对RD硏究分析或是缺陷样品进行细微分析与观察
- 低voxel size可达2um, 特殊条件下可以更低
打线影像 -
项目 规格 电压 180 kV 功率F 15 W 灯丝 预校正灯丝系统,简单快速更换灯丝,不需要校正 靶材 传统钨靶材(可选配钻石靶材) 细节分辨率 可达0.2um X光管类型 开放式微米射线管 探测器 高动态反应的Waygate Technologies DXR250RT平板探测器 100um超小像素尺寸的平板探测器 几何放大倍率 1,970x 27吋屏幕总放大倍率 2700x 大检测区域 460 mm x 360 mm (18"*14")有旋转平台
610 mm x 510mm (24" x 20")无旋转平台大样品尺寸/重量 680 mm x 635 mm (27" x 25") / 10 kg (22 lbs.) 倾斜角度和旋转 可持续调整斜视角度到70° 旋转角度0°-360° 操作方式 Joystick或鼠标(手动模式),CNC (自动模式) 操控辅助 检测过程中,点击’n-to-move功能,点击’n-zoom-to 功能,操控机构保证样品等中心运动 定位辅助 雷射十字定位 防碰撞系统 雷射自动防碰撞系统(可手动取消提升提高放大倍率) 设备尺寸(宽度*高度*深度) 2,160 mm x 1,920 mm x 1,590 mm (85" x 75.6" x 62.6"), (不包括控制平台) 总量 大约3,100 kg / 6,835 lbs. 辐射安全 全机防辐射安全机柜,依据德国Rö和美国性能标准21 CFR Subchapter J.,辐射安全机柜可达完全防护程度,不需要其他形式的认证。但因地区所制定的限制或许可证不在此限。 图像处理软件 phoenix x|act:基于CAD导入功能的x射线检测软件包含了影像增强处理功能,测量功能,以及简便快速的基于CAD数据的自动定位检测程序。
bga|模块(标准):直观的BGA焊点自动分析
vc|模块(标准):直观的空隙自动计算软件,包括多重芯片的贴装检测软件配置(选配) x|act BGA检查模块:基于CAD数据的BGA焊点自动分析
x|act PTH检测模块:基于CAD数据的PTH焊点自动分析
qfp|模块:自动检测QFP焊点
qfn|模块:自动检测QFN/MLF焊点
pth|模块:自动检测PTH焊点
c4|模块:在背景结构下的圆形焊点分析,如C4凸点
ml|模块:多层线路板的检测
质量|评审:用于返工和缺陷显示的可视化模块
Flash!TM:Waygate Technologies特有的影像优化技术planarCT 模块:非破坏性平板二维切片和三维数据分析包括3D|viewer software 硬件配置(选配) 倾斜/旋转单元:倾斜± 45° 与连续360°旋转,大样品载重2kg
手动条形码扫描仪:用于产品识别CT功能(选配) 数据采集/重建软件:phoenix datos|x
结合二维与三维(CT) 操作的升级模块
CT 操控单元:高精度旋转轴
几何放大倍率:100 x (CT)
体素分别率:可达2 微米,依实际尺寸而定
nanomelx可以实现nanoCT®功能,提供更高的影像鋭利度 -
▶ SMT廠
▶ IC廠
▶ BGA基板
▶ 精密零組件
▶ 電子零件
▶ PCBA組裝
▶ 半導體封裝