雷射椭圆仪 产品型号：SE-2000
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特点 规格 量测 厚度, 反射率, 吸收率, 表面结构 量测波长 632.8 nm(He-Ne 雷射) 量测时间 100 ms~2 s 量测厚度 2 nm~6000 nm 样品平台 200 mm (自动 Rho/Theta) 反射角检测 自动 / 手动 角度 45° – 90° / 12° – 90° 变化角度 5° / 1° 重复性 0.01° 准确度 Psi：0.002°
Delta：0.002°厚度精确度 0.01nm( 80nm Si3N4 on Si)
