金属膜厚分析仪 FT150/FT150H/150L 产品型号:FT150

分为三项規格:FT150、FT150L、FT150H #膜厚分析
  • FT150
    伴随光学系的升级,实现相比以往机型更高的灵敏度
    对应nm级Au镀层及数十nm Pd镀层测量效率提升2倍以上
    FT150L
    对应600 mm×600 mm 大型线路板
    配备防X射线泄漏的封闭结构样品室
    FT150H
    对应微区Sn、Ag等镀层测量
    对应陶瓷电子组件端子、Sn-Ag无铅焊锡等

    FT150配备新型聚光光学系和更高规格的Vortex检测器,能够得到比以往机型更高强度的X射线荧光。
    相比以往机型(FT9500X系列),对应微小金属镀层测量的效率提高2倍以上,在相同的测量时间下能够提高其测量精度。
    实现高精度并且高效的测量。
  • 项目 描述
    X射线照射方向 上方照射式
    上方照射式 Al (13) ~ U(92)
    测定环境 大气
    X射线发生部 45kV, 钼Mo 靶材
    设计 毛细管聚焦Poly-capillary
    管电流 最大1000μA 可变
    X射线检测部 Silicon Drift Detector (SDD)
    测定面积 φ0.030mm(FWHM 0.017mm)
    最大样品面积 长400mm、宽300mm、高200mm
    电动XY样品台驱动 移动范围 400×300mm
    CCD Camera 1百万相数
    对焦模式 雷射自动对焦
    测量模式 Thin Film FP (5层, 10元素)/检量线法
    选配 FT150H : 钨W target 
    FT150L : 钼Mo target 
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