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FT150
伴随光学系的升级,实现相比以往机型更高的灵敏度
对应nm级Au镀层及数十nm Pd镀层测量效率提升2倍以上
FT150L
对应600 mm×600 mm 大型线路板
配备防X射线泄漏的封闭结构样品室
FT150H
对应微区Sn、Ag等镀层测量
对应陶瓷电子组件端子、Sn-Ag无铅焊锡等
FT150配备新型聚光光学系和更高规格的Vortex检测器,能够得到比以往机型更高强度的X射线荧光。
相比以往机型(FT9500X系列),对应微小金属镀层测量的效率提高2倍以上,在相同的测量时间下能够提高其测量精度。
实现高精度并且高效的测量。
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项目 |
描述 |
X射线照射方向 |
上方照射式 |
上方照射式 |
Al (13) ~ U(92) |
测定环境 |
大气 |
X射线发生部 |
45kV, 钼Mo 靶材 |
设计 |
毛细管聚焦Poly-capillary |
管电流 |
最大1000μA 可变 |
X射线检测部 |
Silicon Drift Detector (SDD) |
测定面积 |
φ0.030mm(FWHM 0.017mm) |
最大样品面积 |
长400mm、宽300mm、高200mm |
电动XY样品台驱动 移动范围 |
400×300mm |
CCD Camera |
1百万相数 |
对焦模式 |
雷射自动对焦 |
测量模式 |
Thin Film FP (5层, 10元素)/检量线法 |
选配 |
FT150H : 钨W target
FT150L : 钼Mo target |