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- 仪器介绍 -
2020.Apr.28

X荧光-XRF 金属膜厚/重金属RoHS/映像-三功能XRF EA 6000VX



常见XRF根据光束大小, 光通量, 分辨率, 准确度, 补正功能, 应用软件可以分为膜厚仪Thickness guage XRF, Mapping映像 XRF, RoHS 用XRF. EA 6000VX 属于高阶多功能型XRF, 同时拥有膜厚功能, 映像功能, RoHS功能。

 


膜厚仪XRF


常见PCB印刷电路板、BGA、导线架、各种精密零件电镀,都需要测试金属镀膜厚度,基本要求是需要小孔径光束,并且高分辨率能分离多种电镀材质能谱,并可以一次测试多个样品,一次测试多点样品,并且可以准确分析各种金属镀膜厚度。EA 6000VX 可以将光束缩小至0.2mm 并且能记忆多点位置一次测试,甚至做到映像Mapping,并且有相当高的准确度及精确度。
 

Sn-Ag/Cu铜镀锡银,测试:30sec
测试Sn-Ag膜厚同时测试含铅Pb浓度

 

Thickness
Sn-Ag (μm)

Composition
Ag (Wt%)

RoHS
Pb (ppm)

1 5.34 2.83 291
2  5.3 2.63 297
3  5.31 2.64 347
4  5.34 2.73 303
5  5.31 2.67 329
6  5.33 2.67 334
7  5.33 2.75 291
8  5.3 2.74 262
9  5.35 2.72 303
10  5.36 2.91 308
AVE  5.33 2.73 306.5
SD  0.02 0.09  24.6
CV  0.40% 3.20%  8.00%
 

Au/Ni/Cu铜镀镍镀金,测试:30sec
光束:0.2 mm x 0.2 mm

 

Au(μm)

Ni(μm)

1 0.054 5.11
2 0.055 5.11
3 0.054 5.12
4 0.055 5.08
5 0.054 5.1
6 0.055 5.13
7 0.053 5.08
8 0.053 5.09
9 0.054 5.08
10 0.055 5.14
AVE 0.054 5.1
SD 0.0008 0.02
CV 1.50% 0.40%

 

RoHS功能


XRF的单点元素分析功能是基本,但要做到RoHS, RoHS 2.0, RoHS 3.0…分析功能需要考虑对于样品基质的补正,包括不同类型的含氯不含氯的基质,形状的补正,厚度曲面的补正,也可应用于无卤规范及其他相关法规应用。

EA 6000VX软件包括各种形状面积补正,并提供原厂附JAB国家一级实验认证含氯及非含氯RoHS塑料重金属分析标准品,并是全XRF市场上唯一可以提供各种特殊元素的标准品作校正包括Sb, Sn, Ni, P, S标准品。除RoHS应用外还可增加不同元素应用于欧盟REACH法令有害物质、欧洲玩具标准EN71-3、加州Prop. 65法令、美国CPSIA铅含量限制、合金型号辨识、金属元素成分分析、贵金属分析、分析土壤/环境重金属分析、油品分析…等各种元素分析。
 

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Mapping映像功能


EA 6000VX除可以单点元素分析功能外,对于整片不均匀材质欲分析整片区域元素,利用Mapping映像功能,可以知道愈分析的整片区域的某些元素的分布状况,可应用于印刷电路板、太阳能电池、异物方析之快速扫瞄成份分析及金属膜厚Thickness guage测定,样品最大可以至250 mm×200mm。
 

IC样品图像 Ag扫描图像 Au扫描图像 Pb扫描图像 Sn扫描图像
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Hitachi High-Tech日立高新针对大范围的测试对象,特别所设计了全新高阶机型—EA 6000VX,采用最新颖、最高阶Vortex检测器,是目前市面上功能最强速度最快的扫描分析电子式冷却XRF,高计数率设计的Vortex检测器,检测速度是一般检测器的15~20倍,强度可以到150,000CPS,针对微小污染物,微小孔劲需求膜厚测试,微量元素及轻元素分析的应用极佳,EA 6000VX为用于非破坏扫描检测的最高阶仪器XRF。

EA 6000VX当测试大面积测试时如遇到测试PCBA、电路板、已上零件,此时平面就会变的高低不同,如直接测试不调正每个点的测试高度会影响浓度及膜厚准确度,但如要调整高度就必须要有好的控制软件或软件,先作快速扫描得知平面高度,EA 6000VX可已根据红外线扫瞄得到最高平面避免检测器及光管碰触到样品,功能超越一般映像XRF。

 

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